台积电与阿斯麦合作开发12英寸EUV光罩

Sep 08, 2026

台积电与阿斯麦正携手推动芯片制造转向更大尺寸的光罩,这对芯片成本和AI硬件厂商而言是一项长期利好。

  • 台积电将与阿斯麦合作,把EUV光罩从6英寸转向12英寸,光罩即用于将电路印制到硅片上的模板。
  • 试产线计划于2031年建成,全面量产预计在2033年前后。
  • 更大的光罩应能提升芯片工厂的生产效率,并降低每颗芯片的成本。
  • 它们还免去了在最新的High NA设备上将两块较小光罩拼接起来的需要。
  • 随着AI芯片对设计复杂度的要求不断提高,台积电计划于2030年开始使用阿斯麦的High NA设备进行量产。

展望:芯片制造商未来数年仍将继续使用6英寸光罩,因此真正的收益要到下一个十年初才会显现。

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