台大团队首度直接量测2纳米半导体载子转移长度
台湾大学研究团队在半导体检测上取得突破,这对台湾芯片产业和先进制程竞争力是好消息。
- 台大物理系邱雅萍团队研发出新检测技术,首次直接量到二维半导体晶体管的“载子转移长度”,成果登上国际顶尖期刊《自然》。
- 这个长度就是电子从金属进入半导体要走的有效距离,芯片越做越小,这个接触区也必须跟着缩小,直接影响元件能不能正常运作。
- 过去只能用模型间接推算,不同研究估出来的结果差距甚至超过10倍,等于没有可靠标准。
- 团队在真空中把元件劈开、露出干净剖面又维持通电,用探针直接量,测到约2纳米,远小于旧方法推算的9.25纳米。
- 这证明用铋(Bi)接触的单层二硫化钼材料有潜力支撑下一代芯片,技术也适用多种材料。
展望:这项直接检测工具有望成为先进半导体界面工程的新标准,协助芯片持续微缩。